Galvenie materiāli, ko izmanto plānslāņu pārklājumu izsmidzināšanas mērķos

Izsmidzināšanas procesā izejmateriāls, ko sauc par mērķi, tiek iztvaicēts, lai uzklātu plānu, augstas veiktspējas plēvi uz tādiem izstrādājumiem kā pusvadītāji, stikls un displeji. Mērķa sastāvs tieši nosaka pārklājuma īpašības, tāpēc materiāla izvēle ir kritiski svarīga.

Tiek izmantots plašs metālu klāsts, katrs no tiem izvēlēts, ņemot vērā īpašas funkcionālas priekšrocības:

Elektronikas un starpslāņu pamatmetāli

Augstas tīrības pakāpes varš tiek augstu vērtēts tā izcilās elektrovadītspējas dēļ. 99,9995 % tīra vara elementi ir būtiski mikroskopisko vadu (savienojumu) izveidei modernās mikroshēmās, kur minimāla elektriskā pretestība ir ārkārtīgi svarīga ātrumam un efektivitātei.

Augstas tīrības pakāpes niķelis kalpo kā daudzpusīgs darba zirgs. To galvenokārt izmanto kā lielisku adhēzijas slāni un uzticamu difūzijas barjeru, novēršot dažādu materiālu sajaukšanos un nodrošinot daudzslāņu ierīču strukturālo integritāti un ilgmūžību.

Ugunsizturīgi metāli, piemēram, volframs (W) un molibdēns (Mo), tiek augstu vērtēti to augstās karstumizturības un stabilitātes dēļ, un tos bieži izmanto kā izturīgas difūzijas barjeras un kontaktiem sarežģītos apstākļos.

Specializētie funkcionālie metāli

Augstas tīrības pakāpes sudrabs piedāvā visaugstāko elektrisko un siltumvadītspēju no visiem metāliem. Tas padara to ideāli piemērotu augstas vadītspējas, caurspīdīgu elektrodu uzklāšanai skārienekrānos un izcili atstarojošu, zemas emisijas pārklājumu uz enerģiju taupošiem logiem.

Dārgmetāli, piemēram, zelts (Au) un platīns (Pt), tiek izmantoti ļoti uzticamu, pret koroziju izturīgu elektrisko kontaktu un specializētu sensoru ražošanā.

Pārejas metāli, piemēram, titāns (Ti) un tantals (Ta), ir ļoti svarīgi to izcilo adhēzijas un barjeras īpašību dēļ, bieži vien veidojot pamatnes slāni uz substrāta pirms citu materiālu uzklāšanas.

Lai gan šis daudzveidīgais materiālu komplekts nodrošina modernas tehnoloģijas, vara vadītspējas, niķeļa uzticamības un sudraba izcilās atstarošanas spējas attiecīgajās lietojumprogrammās joprojām ir nepārspējamas. Šo augstas tīrības pakāpes metālu nemainīgā kvalitāte ir augstas veiktspējas plānkārtu pārklājumu pamats.